些。
这样完全受到我们的控制。
接下来就是光束成型装置,用此种装置可以控制光束形成自己想要的形状。
在调整了光束的形状以及能量大小之后,会被能量检测器进行检查一次。
看看此时的光束能否达到我们的要求。
一般情况下,光束的形状被调节成圆柱形状。
光束会首先照射到放在光掩膜台上的掩膜上。
光束通过掩膜上的缝隙照射到了凸透镜上,凸透镜通过折射作用,把光束折射到已经放在曝光台上边的硅晶圆片上。
“这基本上就是这一台光刻机的工作原理了。”小白说道。
听后张星辰点了点头:“工作起来其实都是大同小异,还是要看精密度。”
“对外界公布消息吧。”张星辰对着小白说道。
现在我们已经能制造出来90纳米的光刻机了,其实45纳米和90纳米的相差不大……
起码张星辰觉得是差距不大,至于事实真的如张星辰所以为的,那就是仁者见仁,智者见智了。
至于是否有人会买回去研究,张星辰其实是不在乎的,如果我们国家的有人可以研究星辰公司的45纳米光刻机,到最后可以仿制出来,那也是好事情啊。
张星辰不怕你研究出来,就怕你研究不出来。
因为这对于我们整个国家的整体发展水平是好事情啊,是好的提升。
至于对于张星辰的损失……几乎可以忽略不计,因为张星辰很快就会推出更新版本的光刻机了。
他还会在乎吗?
不会的!
“哈哈,我估计后人会把你评价为我们华国的现代光刻机之父的。”
小白笑着说道。
“这只不过是虚名罢了。”张星辰笑着说道:“就算别人把我评价成现代汽车之父,现代自动驾驶系统之父,现代医药之父我也不会丝毫在意的。”
小白听后,在他的眼睛上出现了很多的省略号。
张星辰上前拍了拍眼前的光刻机,也是有些感慨:“没有想到一个小小的光刻机竟然难住了这么多人。”
“今天心情好,我再给你介绍介绍我们的光刻机吧。”
此时的小白滔滔不绝地说了起来,越来越人性化了。
光刻机的操作有三种分法,一种是手动,一种是半自动,一种是全自动。
“我设计的这一款光刻机分别可以执行手动和全自动的模式。”
手动并不一定代表精度低,全自动也不一定就是精密的代名词,不同的场景需要不同的模式去运行光刻机。
适合的才是最好的。
“除此之外,光刻机的显微镜也是一个非常重要的零部件,为了提高显微镜的效果,我们采用的是三百六十五度无死角无影灯进行照明。”
“而且显微镜的镜也是经过无数次的打磨才合格的。”
镜面被打磨的无比平整,至于平整到了什么地步,在这里可以打一个比方,把我们制造出来的镜面放大五十倍,一直到三十万平方公里。
就算这个时候的镜面表面平整度的误差也不会超过一米。
在这里我们可以发挥出自己的想象力充分想象一下。